[实用新型]一种真空吸笔有效

专利信息
申请号: 202223518306.5 申请日: 2022-12-28
公开(公告)号: CN219457562U 公开(公告)日: 2023-08-01
发明(设计)人: 郭永亮;门元帅;汪妍;顾文彬;李小海 申请(专利权)人: 美新半导体(绍兴)有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 代理人: 庞聪雅
地址: 312000 浙江省绍兴市越*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型提供一种真空吸笔,其包括笔筒;真空吸头,其连接于笔筒的前端;气管接口,其连接于笔筒的后端;吸气通道,其设置于笔筒内,吸气通道连通真空吸头和气管接口;滑槽,其自笔筒的外侧面延伸至笔筒内,且滑槽贯穿吸气通道;销杆,其设置于滑槽内,销杆的前端外露于滑槽,其后端穿过滑槽和吸气通道的交汇处,销杆可沿滑槽的延伸方向前后滑动;吸气孔,其设置于销杆的中部且贯穿销杆;与现有技术相比,本实用新型提供的真空吸笔可以吸取晶片,同时在将晶片进行脱离时保证了晶片内外侧面气压等同,有利于晶片的脱落,从而可以避免晶片吸附后脱离失败,并且操作简便。
搜索关键词: 一种 真空
【主权项】:
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