[实用新型]一种应用于超声波清洗中的滚轮结构有效
| 申请号： | 202223500393.1 | 申请日： | 2022-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN218835412U | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 程强强;欧阳钊;冯华 | 申请（专利权）人： | 釜川（无锡）智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州今迈知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32524 | 代理人： | 沈月玲 |
| 地址： | 214194 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种应用于超声波清洗中的滚轮结构，安装于装有溶液的清洗槽内，清洗槽的上下两侧分别设有至少一组超声波清洗机，滚轮结构包括阻水滚轮和若干上压滚轮，阻水滚轮和上压滚轮均为浮动滚轮；阻水滚轮与上压滚轮平行设置且与硅片的传送方向垂直，阻水滚轮分别设置于清洗槽的前壁和后壁处，每组阻水滚轮包括垂向叠放的两层或三层；若干上压滚轮排布于清洗槽内；清洗槽内的溶液的液位低于最上层的阻水滚轮的上表面，高于上压滚轮的下表面，硅片从上压滚轮和最下层的阻水滚轮的下方穿过。本申请中，阻水滚轮和上压滚轮均采用浮动滚轮，避免硅片漂浮继而跑偏，导致硅片损坏；同时采用垂向叠放的两层或三层阻水滚轮，避免溶液快速渗漏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 超声波 清洗 中的 滚轮 结构 | ||
【主权项】：
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