[实用新型]真空腔体隔离装置有效
| 申请号： | 202223491236.9 | 申请日： | 2022-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN219430110U | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 易卓卓;杨茂 | 申请（专利权）人： | 无锡鑫运达真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321 | 代理人： | 马静静 |
| 地址： | 214021 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了真空腔体隔离装置，包括外箱、设置箱和真空腔体隔离箱，位于所述外箱后端通过螺栓连接有设置箱，所述外箱内壁底端设置有长方形的设置条一且通过螺栓相连接，所述设置条一顶部设置有中置导轨，所述中置导轨顶部插入连接有中置滑块，位于所述中置滑块顶部设置有真空腔体隔离箱且通过螺栓相连接，涉及真空腔体隔离技术领域，通过机械组件优化移动，提升了镀膜后真空腔体取出的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 隔离 装置 | ||
【主权项】：
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