[实用新型]一种方便排线的光刻机支撑平台有效
| 申请号： | 202223456616.9 | 申请日： | 2022-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN218974773U | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 赵江民 | 申请（专利权）人： | 合肥玖福半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人： | 苏宇 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种方便排线的光刻机支撑平台，包括钢构底座，所述钢构底座由H型钢焊接而成，型钢组成的矩形空档中沿对角线焊接加强梁，外围焊接加强筋；钢构底座上焊接一块水平放置的钢板作为混凝土底部挡板，在底部挡板的四个边缘各焊接一块竖直放置的钢板作为混凝土侧面挡板；在所述五块混凝土挡板形成的盒状空间内横纵排列焊接螺纹钢成网状，在网状螺纹钢上焊接螺纹孔预埋件并浇筑混凝土，浇筑环氧树脂保护层。本实用新型提供的支撑平台，能满足NIKON光刻机对安装精度的需求，对抗震动的需求以及对支撑刚度的需求，从而使NIKON光刻机能够正常运行，同时具有安装便捷，重量轻，配管方便等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方便 排线 光刻 支撑 平台 | ||
【主权项】：
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