[实用新型]气体分流装置有效
| 申请号： | 202223361499.8 | 申请日： | 2022-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN219297701U | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 傅林坚;刘毅;曹建伟;朱亮;周建灿;吴正闪 | 申请（专利权）人： | 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 尉立 |
| 地址： | 311199 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种气体分流装置，气体分流装置包括进气部、分流部和导流部，所述进气部包括多路金属波纹卡套管，所述分流部具有四个分流腔室，所述分流腔室与所述金属波纹卡套管相连通，在所述分流部的中心向所述分流部的边缘方向上所述分流腔室的体积减小，所述分流部背离所述金属波纹卡套管的一侧具有狭缝，所述狭缝与所述分流腔室连通，所述导流部与所述分流部具有狭缝的一侧相连通，所述导流部具有三个导流腔室，所述导流腔室与一个或多个所述狭缝对应，位于所述导流部中央的所述导流腔室的体积大于位于所述导流部边缘的所述导流腔室的体积。本实用新型提供的气体分流装置具备气体流动均匀的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 分流 装置 | ||
【主权项】：
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