[实用新型]一种蚀刻液混配及储存装置有效

专利信息
申请号: 202223331861.7 申请日: 2022-12-13
公开(公告)号: CN218808006U 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 彭家辉;潘阳 申请(专利权)人: 昆山欣谷微电子材料有限公司
主分类号: B65D88/74 分类号: B65D88/74;B65D90/00;B65D90/48;B01F35/50;B01F35/71;B01F35/90;B01F35/32
代理公司: 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人: 彭益波
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种蚀刻液混配及储存装置,包括:控制面板、用于输送蚀刻液的送料管道以及若干储液罐,送料管道设置在控制面板与储液罐之间,送料管道上设有一多滤芯管道过滤器和一送料泵,储液罐底部设有搅拌器,控制面板上设有若干进/出液口、送料泵开关和搅拌器开关,送料管道的首端与其中一进/出液口相连,送料管道的末端与一储液罐的管口相连,送料泵开关和搅拌器开关分别通过电路与送料泵和搅拌器相连。解决了现有蚀刻液大批量配制难的技术问题,同时本装置操作方便,控制面板上能够显示各部件的运行状态、蚀刻液的相关信息,使操作者一目了然。
搜索关键词: 一种 蚀刻 液混配 储存 装置
【主权项】:
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