[实用新型]一种蚀刻液混配及储存装置有效
申请号: | 202223331861.7 | 申请日: | 2022-12-13 |
公开(公告)号: | CN218808006U | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 彭家辉;潘阳 | 申请(专利权)人: | 昆山欣谷微电子材料有限公司 |
主分类号: | B65D88/74 | 分类号: | B65D88/74;B65D90/00;B65D90/48;B01F35/50;B01F35/71;B01F35/90;B01F35/32 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 彭益波 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种蚀刻液混配及储存装置,包括:控制面板、用于输送蚀刻液的送料管道以及若干储液罐,送料管道设置在控制面板与储液罐之间,送料管道上设有一多滤芯管道过滤器和一送料泵,储液罐底部设有搅拌器,控制面板上设有若干进/出液口、送料泵开关和搅拌器开关,送料管道的首端与其中一进/出液口相连,送料管道的末端与一储液罐的管口相连,送料泵开关和搅拌器开关分别通过电路与送料泵和搅拌器相连。解决了现有蚀刻液大批量配制难的技术问题,同时本装置操作方便,控制面板上能够显示各部件的运行状态、蚀刻液的相关信息,使操作者一目了然。 | ||
搜索关键词: | 一种 蚀刻 液混配 储存 装置 | ||
【主权项】:
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