[实用新型]光学镀膜基片装载装置有效
| 申请号： | 202223325466.8 | 申请日： | 2022-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN218756015U | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 董明;王瑞生;张勇喜;黄宏宇;陈一凡;刘博文 | 申请（专利权）人： | 沈阳仪表科学研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 郭元艺 |
| 地址： | 110043 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种镀膜夹具。所述镀膜夹具包括：载片盘及底托；所述载片盘固定设于底托之上；在所述底托设有基片支撑柱；在基片支撑柱内设有弹性调节机构；在所述载片盘与底托支撑柱对应位置设有压钉；压钉与支撑柱中间形成安装腔以便容纳镀膜基片。本实用新型通过可变高度的弹性调节机构，实现镀膜基片上表面紧贴压钉，高度固定，消除被镀膜基片厚度加工精度带来的高度误差，可实现光学薄膜产品光谱均匀性、一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 镀膜 装载 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳仪表科学研究院有限公司，未经沈阳仪表科学研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202223325466.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种卧式丙烯酸甲酯滴加罐
- 下一篇：一种具有收卷功能的房车用的窗帘
- 同类专利
- 专利分类
