[实用新型]光学镀膜基片装载装置有效
| 申请号： | 202223325466.8 | 申请日： | 2022-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN218756015U | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 董明;王瑞生;张勇喜;黄宏宇;陈一凡;刘博文 | 申请（专利权）人： | 沈阳仪表科学研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 郭元艺 |
| 地址： | 110043 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 镀膜 装载 装置 | ||
1.一种光学镀膜基片装载装置，其特征在于，包括载片盘（1）及底托（2）；所述载片盘（1）固定设于底托（2）之上，两者由数个固定螺钉（14）连接；在所述底托（2）侧壁设有与固定螺钉（14）相通的通气孔（8）。
2.根据权利要求1所述的一种光学镀膜基片装载装置，其特征在于：所述底托（2）内壁为倒锥形结构，上大底小，侧壁斜面上分布数个支撑柱（6），用于向上支撑被镀膜基片；所述基片支撑柱（6）顶部与载片盘（1）上的载片台（11）水平。
3.根据权利要求2所述的一种光学镀膜基片装载装置，其特征在于：底托（2）沿圆周方向设有通孔（7）；在所述载片盘（1）上对应通孔（7）位置设有载片盘与底托配合螺纹孔（13）；在所述基片压钉扣槽（10）及通孔（7）处设有压钉（12）；压钉（12）固定于基片压钉扣槽（10）中。
4.根据权利要求3所述的一种光学镀膜基片装载装置，其特征在于：基片支撑柱（6）内设有弹性调节机构；所述弹性调节机构包括顶针（3）、弹性元件（4）及螺纹钉（5），三者在基片支撑柱（6）内由上向下分布；所述顶针（3）与镀膜基片直接接触，在弹性元件（4）的作用下根据镀膜基片的厚度自由上下移动；镀膜基片位于顶针（3）与压钉（12）之间。
5.根据权利要求4所述的一种光学镀膜基片装载装置，其特征在于：在所述底托（2）上设有与压钉（12）相通的压钉通孔（9）。
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