[实用新型]一种磁控镀膜防静电击穿装置有效
| 申请号： | 202223317934.7 | 申请日： | 2022-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN219181739U | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 关治军;王亚晔;徐安;蔡达 | 申请（专利权）人： | 苏州胜利精密制造科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/00 | 分类号： | H05F3/00;C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 胡秋婵;范晴 |
| 地址： | 215151 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控镀膜防静电击穿装置，用于磁控镀膜设备，所述磁控镀膜设备包括支撑架、安装在支撑架上的第一镀膜组件和第二镀膜组件，所述防静电击穿装置包括设置在所述第一镀膜组件和第二镀膜组件之间的至少一个防静电组件，所述防静电组件包括转动设置在所述支撑架上的支撑辊、卷绕在所述支撑辊的辊体上的第一导电带、卷绕在所述支撑辊的辊轴上的第二导电带，以及连接所述第一导电带与所述第二导电带的导线。本实用新型提供的磁控镀膜防静电击穿装置，可减少电荷在基膜上沉积，避免基膜被击穿，保证产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 静电 击穿 装置 | ||
【主权项】：
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