[实用新型]一种晶圆加工用吸盘

摘要

本实用新型公开了一种晶圆加工用吸盘，包括吸盘壳体，所述吸盘壳体的内部开设有腔体，所述吸盘壳体的边缘开设有安装槽，所述安装槽内从里向外依次设有第一吸板、第二吸板、第三吸板和第四吸板，所述吸盘壳体的底端设有橡胶吸板，所述吸盘壳体的另一端连接有连接板，所述连接板上开设有吸气孔，所述吸气孔上连通有主吸气管，所述主吸气管的一侧连通有副吸气管。本实用新型具有若干吸板对橡胶吸板进行支撑，使得晶圆在吸附的时候，不会因为晶圆中心处应力不均匀发生破裂，以及设有若干吸板，且吸板上开设有不同的，且错位的吸气孔，便于降低气压流速和强度，并且保持气压的均匀性，便于进行吸附和转移晶圆，保持晶圆的安全性。