[实用新型]一种平边晶圆刻画治具有效
| 申请号： | 202223220671.8 | 申请日： | 2022-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN218659041U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 王鑫;刘磊;黄金良;袁强;胡永超 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | B25H7/04 | 分类号： | B25H7/04 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王峰 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体生产制造领域内的一种平边晶圆刻画治具，包括卡盘工作台，所述卡盘工作台上放置有测试晶圆，对应所述测试晶圆上方设置有画线装置，所述画线装置的中心与测试晶圆顶端之间的纵向距离为8mm，所述画线装置后侧与滑块连接，所述滑块可沿导向板水平左右移动，所述导向板的两端设置有支架，所述支架下端与卡盘工作台固定连接。本实用新型能够减少厂内成本的同时提高刻画平边刻度线的精确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平边晶圆 刻画 | ||
【主权项】：
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