[实用新型]一种用于太阳能晶棒粘接的高精度压紧机构有效
申请号: | 202223201193.6 | 申请日: | 2022-12-01 |
公开(公告)号: | CN218803225U | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 赵科旭;马敏 | 申请(专利权)人: | 赵科旭 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04;B28D7/00 |
代理公司: | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人: | 白玉蝶 |
地址: | 118000 辽宁省丹东市振兴区临*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型属于半导体加工技术领域,具体涉及一种用于太阳能晶棒粘接的高精度压紧机构,包括支撑架和切割机用料板,所述切割机用料板上设有粘晶棒专用胶和玻璃板;所述支撑架设有第一套压紧组件,所述第一套压紧组件包括带抱闸的伺服电机,所述伺服电机内设有螺纹轴套,所述螺纹轴套连接有螺杆,所述螺杆上连接有压力传感器,所述压力传感器上连接有用于压紧晶棒的压板,本实用新型将高精度的压力传感器连接安装在压板上,利用高精度的压力传感器监测的压力数据,配合带抱闸的伺服电机,控制压板的压紧程度,使得压板和玻璃板的配合作用下,压紧晶棒又不至于损伤晶棒,以提高生产质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 太阳能 晶棒粘接 高精度 压紧 机构 | ||
【主权项】:
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