[实用新型]一种用于太阳能晶棒粘接的高精度压紧机构

说明书

本实用新型属于半导体加工技术领域，具体涉及一种用于太阳能晶棒粘接的高精度压紧机构，包括支撑架和切割机用料板，所述切割机用料板上设有粘晶棒专用胶和玻璃板；所述支撑架设有第一套压紧组件，所述第一套压紧组件包括带抱闸的伺服电机，所述伺服电机内设有螺纹轴套，所述螺纹轴套连接有螺杆，所述螺杆上连接有压力传感器，所述压力传感器上连接有用于压紧晶棒的压板，本实用新型将高精度的压力传感器连接安装在压板上，利用高精度的压力传感器监测的压力数据，配合带抱闸的伺服电机，控制压板的压紧程度，使得压板和玻璃板的配合作用下，压紧晶棒又不至于损伤晶棒，以提高生产质量。

技术领域

本实用新型属于半导体加工技术领域，具体涉及一种用于太阳能晶棒粘接的高精度压紧机构。

背景技术

晶体的切片是半导体加工过程中不可缺的重要组成部分。在晶体由长晶棒到切割成晶片过程中，晶棒与切割机料板能粘牢，保证在切割过程中不掉片，是半导体加工过程一个难题，更要求晶棒与切割机料板粘结牢固，而且不能压碎或压裂晶棒。所以设计了一种太阳能晶棒粘接的高精度压紧机构，用于晶棒在切割前与切割机料板粘牢，保证在切割机加工晶片时不掉片，同时又不能压碎或压裂晶棒。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述不足之处，本实用新型提供了一种用于太阳能晶棒粘接的高精度压紧机构，用以解决现有晶体在切割过程中，压紧力度不好掌握的问题，力度过大，容易对晶体造成压坏损伤，力度过小，晶棒容易掉落，不能完成切割加工。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于太阳能晶棒粘接的高精度压紧机构，包括支撑架和切割机用料板，所述切割机用料板上设有粘晶棒专用胶和玻璃板；所述支撑架设有第一套压紧组件，所述第一套压紧组件包括带抱闸的伺服电机，所述伺服电机内设有螺纹轴套，所述螺纹轴套连接有螺杆，所述螺杆上连接有压力传感器，所述压力传感器上连接有用于压紧晶棒的压板。

进一步地，所述支撑架设有固定座，所述固定座上设有第一直线导轨和滑块，所述压板通过转接板和滑块连接。

进一步地，还包括第二套压紧组件和横梁，所述第二套压紧组件设置在横梁上，所述支撑架上间隔设置有直线运动模组和第二直线导轨，所述横梁一端装配在直线运动模组上，另一端安装在第二直线导轨的滑块上。

进一步地，所述压板的形状为弧形以适合粘接圆晶棒。

进一步地，所述述压板的形状还可以为平面，以适合粘接方形晶棒。

进一步地，所述支撑架采用桁架结构设计

在具体使用时，晶棒压紧件连接有高精度的压力传感器，测量压力的大小，压力传感器连接压板用于压紧晶棒。与晶棒间有粘晶棒专用胶和玻璃板。玻璃板在切割过程中起保护料板作用。第一套压紧组件螺杆与压力传感器连接，当转动螺杆上下运动，带动压力传感器上下运动。高精度压力传感器给带抱闸的伺服电机信号，伺服电机内螺纹轴套旋转，使得螺杆旋进旋出进而带动压力传感器上下运动，进而控制压紧力的大小。两侧固定座装有高精度的第一直线导轨和滑块，压板通过转接板连接到滑块上，保证压紧机构沿直线运动。第二套压紧组件安装在横梁上，横梁一端装配在直线运动模组，另一端安装在第二直线导轨的滑块上。在直线运动模组的电机驱动下，第二套压紧机构可以前后运动，两套压紧机构实现长晶棒粘接，也可以粘接多根晶棒。与晶棒接触的压板可以做成弧形适合粘接圆晶棒，也可以做成平面，适合粘接方形晶棒。支撑架采用桁架结构设计，结构稳定，不易变形。从而在高精度的压力传感器监控下，合理控制压板的压紧程度，使得压板和玻璃板的配合作用下，压紧晶棒又不至于损伤晶棒，以提高生产质量。

本实用新型与现有技术相比，具有如下有益效果：将高精度的压力传感器连接安装在压板上，利用高精度的压力传感器监测的压力数据，配合带抱闸的伺服电机，控制压板的压紧程度，使得压板和玻璃板的配合作用下，压紧晶棒又不至于损伤晶棒，以提高生产质量；设计第二套压紧机构可以前后运动，两套压紧机构实现长晶棒粘接，也可以粘接多根晶棒。