[实用新型]一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机有效
申请号: | 202223175777.0 | 申请日: | 2022-11-29 |
公开(公告)号: | CN218982487U | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
发明(设计)人: | 何其金;何飞;张靖 | 申请(专利权)人: | 扬州永旭新能源科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00 |
代理公司: | 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 | 代理人: | 马垚 |
地址: | 225000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了单晶硅片清洗机技术领域的一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机,包括清洗机,清洗机上方左侧设有分流管,分流管外侧壁设有多组喷淋嘴,清洗机左侧壁设有水泵,水泵出水端连接设有第一输水管,固定板内前后两侧均开设有第二空腔,两组第二空腔内滑动连接设有滑动板,连接管内设有两组挡板,两组挡板相远离端分别贯穿连接管内前后侧壁与两组滑动板相对侧壁相连接,固定板内左侧开设有第一空腔,第一空腔内设有调节机构,本实用在调节机构的配合下能够带动滑动板进行移动,从而滑动板能够带动挡板进行移动,从而可调节流经连接管的流水量,方便对水的压力进行调节,从而能够对喷淋压力进行控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 喷淋 压力 可控 单晶硅 清洗 | ||
【主权项】:
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