[实用新型]一种检测机构和检测装置有效
申请号: | 202223161949.9 | 申请日: | 2022-11-25 |
公开(公告)号: | CN219103972U | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 刘成;余俊华;林少戊;石海胜;聂昆深;尹建刚;高云峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | G01B21/08 | 分类号: | G01B21/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请实施例公开了一种检测机构和检测装置,检测机构包括定位组件、检测组件以及弹性组件,定位组件包括第一传感件,检测组件包括第二传感件,检测组件与定位组件沿第一方向可相对移动连接,第一传感件和第二传感件沿第一方向相对且可接触设置,第一传感件与第二传感件接触时可导通信号,弹性组件沿第一方向设置,弹性组件的两端分别与定位组件和检测组件连接,第一传感件和第二传感件接触时,在弹性组件的作用下,检测组件沿第一方向处于受力平衡状态。移动检测机构使检测组件与巴条接触后,再进一步移动检测机构使巴条与检测组件产生作用力和反作用力,检测组件在巴条的反作用力下停止移动,第二传感件随着定位组件移动而与第一传感件分开。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 机构 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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