[实用新型]一种检测机构和检测装置有效
| 申请号: | 202223161949.9 | 申请日: | 2022-11-25 |
| 公开(公告)号: | CN219103972U | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
| 发明(设计)人: | 刘成;余俊华;林少戊;石海胜;聂昆深;尹建刚;高云峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号: | G01B21/08 | 分类号: | G01B21/08 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 检测 机构 装置 | ||
本申请实施例公开了一种检测机构和检测装置,检测机构包括定位组件、检测组件以及弹性组件,定位组件包括第一传感件,检测组件包括第二传感件,检测组件与定位组件沿第一方向可相对移动连接,第一传感件和第二传感件沿第一方向相对且可接触设置,第一传感件与第二传感件接触时可导通信号,弹性组件沿第一方向设置,弹性组件的两端分别与定位组件和检测组件连接,第一传感件和第二传感件接触时,在弹性组件的作用下,检测组件沿第一方向处于受力平衡状态。移动检测机构使检测组件与巴条接触后,再进一步移动检测机构使巴条与检测组件产生作用力和反作用力,检测组件在巴条的反作用力下停止移动,第二传感件随着定位组件移动而与第一传感件分开。
技术领域
本申请涉及尺寸检测器械技术领域,尤其涉及一种检测机构和检测装置。
背景技术
巴条作为激光器阵列的基本组成单元,其在批量生产中,尺寸精度的控制十分重要。
而在巴条的实际加工过程中,缺少单独对每个巴条的片厚进行检测,相关技术中只是找到一个适用大多数巴条的加工参数可以完成加工,但在大批量的加工后,由于厚度上的误差使得加工后不良巴条的数量越来越多,使制造成本上升。
因此,因巴条厚度误差导致加工出的不良品增加而使制造成本上升的问题,有待解决。
实用新型内容
本申请实施例是一种检测机构和检测装置,可以检测出厚度尺寸具有误差的巴条,从而可以避免其流入后续加工导致生产出不良品。
本申请实施例公开了一种检测机构,所述检测机构包括定位组件、检测组件以及弹性组件,所述定位组件包括第一传感件,所述检测组件包括第二传感件,所述检测组件与所述定位组件沿第一方向可相对移动连接,所述第一传感件和所述第二传感件沿第一方向相对且可接触设置,所述第一传感件与所述第二传感件接触时可导通信号,所述弹性组件沿第一方向设置,所述弹性组件的两端分别与所述定位组件和所述检测组件连接,所述第一传感件和所述第二传感件接触时,在所述弹性组件的作用下,所述检测组件沿第一方向处于受力平衡状态。
本申请实施例还公开了一种检测装置,所述检测装置包括驱动机构和如上所述的检测机构,所述驱动机构与所述定位组件驱动连接。
本申请实施例采用了第一传感件与第二传感件接触时可导通信号的设置,且在第一传感件和第二传感件接触时,在弹性组件的作用下,检测组件沿第一方向处于受力平衡状态,那么此时沿着第一方向将检测机构整体移动至使检测组件与巴条表面接触的基础上,再进一步移动检测机构使巴条与检测组件产生作用力和反作用力,这样检测组件在巴条的反作用力推动下会停止移动,第二传感件随着定位组件继续移动从而与第一传感件由接触状态转变成分开状态,使得第一传感件与第二传感件接触时导通的信号中断,如此便得到反馈了解到巴条的位置。在实际检测使用中,可以将检测机构调至沿第一方向距巴条载台固定位置,然后开始控制检测机构沿第一方向朝巴条靠近,根据检测机构的行进距离得到对应巴条的厚度。进而克服了因巴条厚度误差导致加工出的不良品增加而使制造成本上升的问题,达到了提升制造良品率、降低制造成本的效果。
附图说明
所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解,其构成了说明书的一部分,用于例示本申请的实施方式,并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中:
图1是本申请实施例公开的一种检测机构正视的结构示意图;
图2是本申请实施例公开的一种检测机构立体的结构示意图;
图3是本申请实施例公开的一种导向件与导柱配合的结构示意图;
图4是本申请实施例公开的一种检测装置的结构框图。
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