[实用新型]一种氮化硅坩埚有效
申请号: | 202223141958.1 | 申请日: | 2022-11-25 |
公开(公告)号: | CN218969432U | 公开(公告)日: | 2023-05-05 |
发明(设计)人: | 刘立新;简城梁;何家雍;王中然;钟勇 | 申请(专利权)人: | 长沙新立硅材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州君锐达知识产权代理有限公司 33544 | 代理人: | 应孔月 |
地址: | 410205 湖南省长沙市长沙高新开发*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种氮化硅坩埚,包括:坩埚本体,所述坩埚本体的底部中央开有贯通的孔洞;石墨堵头,所述石墨堵头可拆卸地封堵在所述孔洞上。本申请从氮化硅坩埚的结构入手,所述坩埚本体的底部中央开有贯通的孔洞,所述石墨堵头可拆卸地封堵在所述孔洞上,可在铸锭完成后,将氮化硅坩埚翻转,打开可拆卸的石墨堵头,利用底部开孔用脱模装置可实现硅锭的无损脱模。 | ||
搜索关键词: | 一种 氮化 坩埚 | ||
【主权项】:
暂无信息
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