[实用新型]一种晶圆加工用甩干装置

摘要

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种晶圆加工用甩干装置，包括机体，所述机体内部放置有多个支撑框，多个支撑框之间均固定连接有连接块，多个支撑框的内部均开设有滑动槽，多个滑动槽的内部均滑动连接有滑动板，每组滑动板相互靠近的一侧面均开设有卡槽，每组固定板相互远离的一侧面均固定连接有推杆。该晶圆加工用甩干装置，通过转动转动框能够使多个顶块与滑动球的配合下使多个滑动板相互靠近，使其内部的晶圆能够卡入卡槽内，对晶圆进行固定，避免晶圆受离心力的影响而发生偏移，提高晶圆的稳定性，解决了晶圆可能会受离心力的影响而发生偏移的问题，同时多个固定板能够具备对不同直径的晶圆进行固定的能力。