[实用新型]一种电子级四氟化碳工艺气及成品气分析管路系统有效
| 申请号： | 202223023667.2 | 申请日： | 2022-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN219475499U | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 孙朝阳;侯玲玲;岳成君 | 申请（专利权）人： | 昊华气体有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N21/31 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 471012 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子级四氟化碳工艺气及成品气分析管路系统，包括(1)工艺气分析系统、(2)成品气分析系统、(3)查核样系统、(4)载气纯化系统、(5)驱动气系统、(6)分析尾气回收系统，其中：(1)工艺气分析系统包括：工艺气相色谱分析系统、工艺气体抽空系统；(2)成品气分析系统包括：成品气相色谱分析系统、成品水分分析系统、成品气体抽空系统。该分析管路系统能够实现一套设备快速分析电子级四氟化碳工艺体及成品气体中各个组分含量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 氟化 工艺 成品 分析 管路 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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