[实用新型]一种用于称重提拉法的水冷籽晶杆有效
| 申请号： | 202223015828.3 | 申请日： | 2022-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN218880144U | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 陈燕平;黄祥跃;孙义林;陈康进 | 申请（专利权）人： | 福建致卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32;C30B15/20 |
| 代理公司： | 福州创蔚来知识产权代理有限公司 35290 | 代理人： | 郑艳艳 |
| 地址： | 350100 福建省福州市闽侯县上街*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及用于称重提拉法的水冷籽晶杆，它包括用于固设晶种的杆芯，所述杆芯的上端设有旋转电机，所述旋转电机与称重体系连接，所述杆芯的外围套设有冷却单元以及位于冷却单元上方的波纹管；所述冷却单元包括用于与晶体生长炉顶壁固定连接的固定座以及与固定座一体成型的冷却套筒，所述固定座的中心设有与冷却套筒贯通且容杆芯穿过的通道，所述冷却套筒伸入晶体生长炉的炉膛内；所述冷却套筒的筒壁设有容纳冷却液的夹层，所述固定座上设有与所述夹层相通的腔室，且固定座上设有与腔室连通的进液口与出液口；所述波纹管连接于固定座与旋转电机之间。该水冷籽晶杆既能冷却杆芯，又不会对杆芯施加外力，可以用于称重提拉法晶体生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 重提 水冷 籽晶 | ||
【主权项】：
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