[实用新型]一种用于称重提拉法的水冷籽晶杆

权利要求书

1.一种用于称重提拉法的水冷籽晶杆，它包括用于固设晶种的杆芯(1)，所述杆芯(1)的上端设有控制其旋转的旋转电机(2)，所述旋转电机(2)与称重体系(3)连接，其特征在于：所述杆芯(1)的外围套设有冷却单元(4)以及位于冷却单元(4)上方的波纹管(5)；

所述冷却单元(4)包括用于与晶体生长炉顶壁固定连接的固定座(41)以及与固定座(41)一体成型的冷却套筒(42)，所述固定座(41)的中心设有与冷却套筒(42)贯通且容杆芯(1)穿过的通道，所述冷却套筒(42)伸入晶体生长炉的炉膛(6)内；所述冷却套筒(42)的筒壁设有容纳冷却液的夹层(421)，所述固定座(41)上设有与所述夹层(421)相通的腔室(411)，且固定座(41)上设有与腔室(411)连通的进液口(412)与出液口(413)；

所述波纹管(5)连接于固定座(41)与旋转电机(2)之间。

2.根据权利要求1所述的用于称重提拉法的水冷籽晶杆，其特征在于：所述波纹管(5)的底端与顶端分别通过法兰盘(51)与固定座(41)、旋转电机(2)的机体对应连接。

3.根据权利要求1所述的用于称重提拉法的水冷籽晶杆，其特征在于：所述杆芯(1)包括杆芯主体(11)以及与杆芯主体(11)底端拆合连接的晶种固定杆(12)；所述晶种固定杆(12)的底端开设有用于固定晶种的晶种槽A(121)，所述晶种固定杆(12)上设有盖板(122)，所述盖板(122)通过螺丝与晶种固定杆(12)连接，所述晶种固定杆(12)与盖板(122)上设有容螺丝穿入的螺孔。

4.根据权利要求3所述的用于称重提拉法的水冷籽晶杆，其特征在于：所述晶种槽A(121)的截面呈T形。

5.根据权利要求3所述的用于称重提拉法的水冷籽晶杆，其特征在于：所述杆芯主体(11)与晶种固定杆(12)螺纹连接，所述杆芯主体(11)底端的外壁面设有外螺纹，所述晶种固定杆(12)的顶端设有容杆芯主体(11)底端旋入的螺纹槽孔(123)。

6.根据权利要求1所述的用于称重提拉法的水冷籽晶杆，其特征在于：所述杆芯(1)穿入冷却套筒(42)，杆芯(1)的外壁面与冷却套筒(42)的内壁面之间的距离为1mm-2mm。