[实用新型]一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置有效
| 申请号： | 202222994332.9 | 申请日： | 2022-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN218910492U | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 刘辉;章旭;林鸳;刘军;卢欢;路富亮;徐锋;钱亮亮 | 申请（专利权）人： | 江西水晶光电有限公司;江西晶创科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 王超峰 |
| 地址： | 335000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置，包括底板，所述底板中部开设有套在电子枪枪口上的套孔，两侧内切形成有用于卡接磁极的槽口，顶部抵在坩埚上呈与坩埚适配的弧状；还包括垂直安装在底板上且位于槽口与坩埚之间用于阻挡膜料的挡板。在成膜过程中，电子枪发射的电子束，通过磁极产生的磁场偏转，作用到坩埚中的材料上，熔化材料使材料蒸发，蒸发的材料向材料的上半球空间运动，磁极方向的材料被挡板阻挡沉积在挡板上，磁极被保护起来，无材料沉积，进而可以确保产品质量。挡板对磁极进行防护，无需对磁极进行清洗，防止在清洁磁极过程中膜屑灰尘进入蒸发室的可能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 电子枪 磁极 受膜料 污染 装置 | ||
【主权项】：
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