[实用新型]用于电路板或电池电极的卷绕式铜膜真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202222984601.3 | 申请日： | 2022-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN218756020U | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 姜翠宁;李小彭;李仕军;高文波;李星 | 申请（专利权）人： | 浙江生波智能装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/32 |
| 代理公司： | 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人： | 石仁 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种用于电路板或电池电极的卷绕式铜膜真空镀膜设备，至少包括依次设置的放卷室、工艺室、及收卷室；工艺室至少包括：表面活化工艺室，用于对输送而来的柔性PI基材进行二次烘烤，并通过离子源对柔性PI基材进行材料表面活化处理；改性工艺室，用于通过金属源注入Cu离子，使经表面活化处理的柔性PI基材表面，形成由Cu离子和PI材料表面原子或分子相结合的改性嵌入层；弧靶离子镀膜工艺室，用于通过弧源离子源注入Cu离子，使改性嵌入层上形成Cu过渡层；以及磁控溅射镀膜工艺室，用于通过磁控溅射源以直流溅射的方式在Cu过渡层上形成Cu功能层。本实用新型实施例，经工艺室真空镀膜制成的铜膜，其表面附着力满足大于0.7N/mm的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电路板 电池 电极 卷绕 式铜膜 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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