[实用新型]一种等离子体炬有效
| 申请号： | 202222887175.1 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN219004592U | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 余珍胜 | 申请（专利权）人： | 苏州釜昕科技有限公司 |
| 主分类号： | B22F9/14 | 分类号： | B22F9/14;B22F1/065;H05H1/28 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 杨慧红 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型一种等离子体炬，涉及射频等离子加工设备的技术领域，包括用于连接反应室的反应室连接座，反应室连接座上开设有连接口；反应室连接座上设置有柱状包套，柱状包套上开设有与连接口连通的进粉通道，反应室连接座上设置有用于固定柱状包套的固定组件；柱状包套内设置有感应线圈；柱状包套上设置有等离子气体分配座，等离子气体分配座内开设有与进粉通道连通的进气道；等离子气体分配座上设置有等离子石英约束管；等离子气体分配座上设置有等离子气进孔和翘气进孔；等离子气体分配座一端插设有送粉喷枪；还包括用于降温的水冷循环系统。本发明具有提高生产效率、增长使用寿命的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 | ||
【主权项】：
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