[实用新型]一种等离子体炬

权利要求书

1.一种等离子体炬，其特征在于：包括用于连接反应室的反应室连接座(1)，所述反应室连接座(1)上开设有连接口(11)；

所述反应室连接座(1)上设置有柱状包套(2)，所述柱状包套(2)上沿轴向贯穿开设有进粉通道(21)，所述进粉通道(21)与连接口(11)连通，所述反应室连接座(1)上设置有用于固定柱状包套(2)的固定组件(3)；

所述柱状包套(2)内设置有感应线圈(4)，所述感应线圈(4)位于柱状包套(2)接近反应室连接座(1)的一端；

所述柱状包套(2)远离连接反应室的一端设置有等离子气体分配座(5)，所述等离子气体分配座(5)朝向柱状包套(2)的一端开设有与进粉通道(21)连通的进气道(51)，所述进气道(51)与进粉通道(21)同轴设置且所述进气道(51)的径长小于所述进粉通道(21)的径长；

所述等离子气体分配座(5)上设置有等离子石英约束管(52)，所述等离子石英约束管(52)一端插入进气道(51)内，另一端插入进粉通道(21)内；

所述等离子气体分配座(5)上设置有等离子气进孔(53)和翘气进孔(54)，所述等离子气进孔(53)沿等离子气体分配座(5)径向倾斜设置，所述等离子气进孔(53)一端连接有等离子气进气管(81)，另一端与进气道(51)连通，所述翘气进孔(54)沿等离子气体分配座(5)轴向设置，所述翘气进孔(54)一端连接有翘气进气管(82)，另一端与进粉通道(21)连通；

所述等离子气体分配座(5)远离柱状包套(2)的一端插设有送粉用的送粉喷枪(6)；

还包括用于降温的水冷循环系统。

2.根据权利要求1所述的一种等离子体炬，其特征在于：所述固定组件(3)包括设置在反应室连接座(1)上的下固定盘(31)、设置在柱状包套(2)远离反应室连接座(1)一端的上固定盘(32)，所述下固定盘(31)朝向反应室连接座(1)的一侧面上固定连接有连接圆盘(311)，所述等离子气体分配座(5)固定连接在升固定盘背离柱状包套(2)的一侧面上。

3.根据权利要求2所述的一种等离子体炬，其特征在于：所述柱状包套(2)接近反应室连接座(1)的一端设置有喷嘴(7)，所述喷嘴(7)与下固定盘(31)相连，所述喷嘴(7)上设置有等离子陶瓷约束管(71)，所述等离子陶瓷约束管(71)插入进粉通道(21)内，所述等离子陶瓷约束管(71)的径向小于进粉通道(21)的径长，所述等离子陶瓷约束管(71)远离喷嘴(7)的一端与等离子气体分配座(5)抵接。

4.根据权利要求3所述的一种等离子体炬，其特征在于：所述等离子陶瓷约束管(71)内壁与等离子石英约束管(52)外壁之间形成有翘气进气道(72)，所述翘气进孔(54)与翘气进气道(72)连通。

5.根据权利要求3所述的一种等离子体炬，其特征在于：所述上固定盘(32)上设置有中空的等离子体水气路分配矩座(8)，所述等离子气体分配座(5)同轴设置在等离子体水气路分配矩座(8)内，所述翘气进气管(82)和等离子气进气管(81)均插设在等离子体水气路分配矩座(8)上。

6.根据权利要求5所述的一种等离子体炬，其特征在于：所述等离子体水气路分配矩座(8)远离上固定盘(32)的一端同轴设置有密封压板(9)，所述等离子气体分配座(5)与密封压板(9)相连。

7.根据权利要求6所述的一种等离子体炬，其特征在于：所述送粉喷枪(6)上同轴套设有固定螺纹轴套(61)，所述固定螺纹轴套(61)与密封压板(9)螺纹连接。

8.根据权利要求5所述的一种等离子体炬，其特征在于：所述水冷循环系统包括插设在等离子体水气路分配矩座(8)上的进水管(83)和出水管(84)，所述柱状包套(2)上设置有通水孔(22)，所述通水孔(22)沿轴向贯穿柱状包套(2)设置，所述等离子陶瓷约束管(71)与柱状包套(2)内壁之间形成有回水道(74)，所述进水管(83)与通水孔(22)连通，所述出水管(84)与回水道(74)连通管，所述喷嘴(7)上开设有连通通水孔(22)和回水道(74)的环槽(73)。