[实用新型]一种光罩夹具有效
| 申请号： | 202222815401.5 | 申请日： | 2022-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN218488211U | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 孙秉群 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光罩夹具，包括：相对设置的第一支撑结构和第二支撑结构、至少两个第一移动夹具、至少两个第二移动夹具、第一转轴、第二转轴、第三转轴、连接柱和手柄；第一支撑结构的内侧设置有至少两个第一移动夹具，第一支撑结构的外侧通过第一转轴和连接柱的第一端转动连接；第一支撑结构的内侧为第一支撑结构朝向第二支撑结构的一侧；第二支撑结构的内侧设置有至少两个第二移动夹具，第二支撑结构的外侧通过第二转轴和连接柱的第二端转动连接；第二支撑结构的内侧为第二支撑结构朝向第一支撑结构的一侧；手柄的一端通过第三转轴与连接柱转动连接。本实用新型提供的光罩夹具保障了在夹取光罩时所述光罩不易脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 夹具 | ||
【主权项】：
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