[实用新型]一种稳定单晶硅棒的装置有效

专利信息
申请号: 202222801438.2 申请日: 2022-10-24
公开(公告)号: CN218262817U 公开(公告)日: 2023-01-10
发明(设计)人: 李鑫;许堃;李安君;朱厚军;高贻刚 申请(专利权)人: 宇泽半导体(云南)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 云南恒于知行知识产权代理有限公司 53225 代理人: 李宁
地址: 675000 云南省楚雄彝族自治州楚*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 实用新型涉及一种稳定单晶硅棒的装置,属于单晶硅棒取棒辅助装置技术领域。所述的稳定单晶硅棒的装置包括单晶棒防晃动支撑架、支撑软毡、单晶棒下落支撑装置;所述的单晶棒防晃动支撑架设置在单晶炉副室下口处,支撑软毡环绕设置在单晶炉副室下口内壁上,支撑软毡的厚度适应单晶棒和单晶炉副室下口内壁之间的距离,单晶棒下落支撑装置设置在单晶炉副室下口下侧,并通过单晶棒防晃动支撑架支撑安装。本实用新型通过在单晶炉副室下口内部增加单晶棒防晃动装置,解决了取棒时晶棒不稳晃动碰到炉壁的现状,使得单晶棒在副室旋转时,副室内单晶棒不会发生晃动,防止了单晶棒和副室内壁发生磕碰,降低了单晶棒掉棒等重大异常事故的发生。
搜索关键词: 一种 稳定 单晶硅 装置
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