[实用新型]一种稳定单晶硅棒的装置有效
申请号: | 202222801438.2 | 申请日: | 2022-10-24 |
公开(公告)号: | CN218262817U | 公开(公告)日: | 2023-01-10 |
发明(设计)人: | 李鑫;许堃;李安君;朱厚军;高贻刚 | 申请(专利权)人: | 宇泽半导体(云南)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 云南恒于知行知识产权代理有限公司 53225 | 代理人: | 李宁 |
地址: | 675000 云南省楚雄彝族自治州楚*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种稳定单晶硅棒的装置,属于单晶硅棒取棒辅助装置技术领域。所述的稳定单晶硅棒的装置包括单晶棒防晃动支撑架、支撑软毡、单晶棒下落支撑装置;所述的单晶棒防晃动支撑架设置在单晶炉副室下口处,支撑软毡环绕设置在单晶炉副室下口内壁上,支撑软毡的厚度适应单晶棒和单晶炉副室下口内壁之间的距离,单晶棒下落支撑装置设置在单晶炉副室下口下侧,并通过单晶棒防晃动支撑架支撑安装。本实用新型通过在单晶炉副室下口内部增加单晶棒防晃动装置,解决了取棒时晶棒不稳晃动碰到炉壁的现状,使得单晶棒在副室旋转时,副室内单晶棒不会发生晃动,防止了单晶棒和副室内壁发生磕碰,降低了单晶棒掉棒等重大异常事故的发生。 | ||
搜索关键词: | 一种 稳定 单晶硅 装置 | ||
【主权项】:
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