[实用新型]一种稳定单晶硅棒的装置有效
| 申请号： | 202222801438.2 | 申请日： | 2022-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN218262817U | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 李鑫;许堃;李安君;朱厚军;高贻刚 | 申请（专利权）人： | 宇泽半导体（云南）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 云南恒于知行知识产权代理有限公司 53225 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 675000 云南省楚雄彝族自治州楚*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 单晶硅 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种稳定单晶硅棒的装置，其特征在于：所述的稳定单晶硅棒的装置包括单晶棒防晃动支撑架、支撑软毡（1）、单晶棒下落支撑装置（2）；所述的单晶棒防晃动支撑架设置在单晶炉副室（3）下口处，支撑软毡（1）环绕设置在单晶炉副室（3）下口内壁上，支撑软毡（1）的厚度适应单晶棒（4）和单晶炉副室（3）下口内壁之间的距离，单晶棒下落支撑装置（2）设置在单晶炉副室（3）下口下侧，并通过单晶棒防晃动支撑架支撑安装。
2.根据权利要求1所述的一种稳定单晶硅棒的装置，其特征在于：所述的单晶棒防晃动支撑架包括外支撑架（5）、卡合支撑杆（6）、软毡支撑环板（7）、环板支撑杆（8），外支撑架（5）通过卡合支撑杆（6）环绕卡合安装在单晶炉副室（3）下口外侧，卡合支撑杆（6）卡接在单晶炉副室（3）下口的外壁上，单晶棒下落支撑装置（2）安装在外支撑架（5）的下侧，环板支撑杆（8）连接在外支撑架（5）上且处于单晶炉副室（3）内侧，软毡支撑环板（7）通过环板支撑杆（8）环绕设置在单晶炉副室（3）下口内壁上，支撑软毡（1）环绕设置于软毡支撑环板（7）上。
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