[实用新型]一种质谱仪多级真空抽滤系统有效
申请号: | 202222801013.1 | 申请日: | 2022-10-24 |
公开(公告)号: | CN219061927U | 公开(公告)日: | 2023-05-23 |
发明(设计)人: | 王璐菊;吴海荣;杨章静 | 申请(专利权)人: | 苏州博维仪器科技有限公司 |
主分类号: | F04B37/14 | 分类号: | F04B37/14;F04B41/06;F04B39/12;F04B39/00 |
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地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本实用新型公开了一种质谱仪多级真空抽滤系统,包括真空腔体、第一分子泵、第二分子泵、机械泵和连接机构,所述真空腔体底端安装有第一分子泵和第二分子泵,所述第一分子泵、第二分子泵和机械泵之间通过连接机构相互连接。本实用新型,涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空;通过两组涡轮分子泵和机械泵的组合设计,能正常保持真空度为10 |
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搜索关键词: | 一种 质谱仪 多级 真空 系统 | ||
【主权项】:
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