[实用新型]一种质谱仪多级真空抽滤系统

说明书

本实用新型公开了一种质谱仪多级真空抽滤系统，包括真空腔体、第一分子泵、第二分子泵、机械泵和连接机构，所述真空腔体底端安装有第一分子泵和第二分子泵，所述第一分子泵、第二分子泵和机械泵之间通过连接机构相互连接。本实用新型，涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空；通过两组涡轮分子泵和机械泵的组合设计，能正常保持真空度为10supgt;‑6/supgt;Pa级，大大保证仪器的灵敏度特性。

技术领域

本实用新型涉及质谱仪技术领域，具体是一种质谱仪多级真空抽滤系统。

背景技术

质谱仪用来做质量筛选的真空腔体，必须要保证相对的真空度才能正常工作，真空度不够会出现灵敏度下降甚至是不出信号的情况，因此保证真空腔体的真空度对仪器的整体性能至关重要。独立的抽真空装置会导致气流波动太大，影响测试重复性的数据，怎样保证大流量的真空抽滤同时还要保证气流的稳定性是此项技术的关键所在。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种质谱仪多级真空抽滤系统，以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种质谱仪多级真空抽滤系统，包括真空腔体、第一分子泵、第二分子泵、机械泵和连接机构，所述真空腔体底端安装有第一分子泵和第二分子泵，所述第一分子泵、第二分子泵和机械泵之间通过连接机构相互连接。

优选的，所述连接机构包括第一弯管、直管、三通管、第二弯管和卡箍，所述直管一端通过卡箍固定有第一弯管，直管另一端通过卡箍固定有三通管，所述三通管通过卡箍连接有第二弯管。

优选的，所述第一弯管与第一分子泵之间通过卡箍连接，所述第二弯管与机械泵之间通过卡箍连接，所述三通管与第二分子泵之间通过卡箍连接。

优选的，所述卡箍包括第一夹板、连接头、第二夹板和密封圈，所述连接头的截面为T形结构，所述连接头的中部安装有密封圈，所述连接头的外侧安装有第一夹板和第二夹板。

优选的，所述连接头位于密封圈处设置为圆弧形结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：在真空腔体的前后两端同时采用两个涡轮分子泵装置，利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的，然后串联在一起的排气管接入大功率的机械泵进行气流的转换；涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空；通过两组涡轮分子泵和机械泵的组合设计，能正常保持真空度为10^-6Pa级，大大保证仪器的灵敏度特性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的结构示意图。

图3为本实用新型的结构示意图。

图4为本实用新型的结构示意图。

图中：1、真空腔体；2、第一分子泵；3、第二分子泵；4、机械泵；5、连接机构；51、第一弯管；52、直管；53、三通管；54、第二弯管；55、卡箍；551、第一夹板；552、连接头；553、第二夹板；554、密封圈。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。