[实用新型]大视场的闪测设备有效
| 申请号： | 202222761008.2 | 申请日： | 2022-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN218155996U | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 徐爱文;陈源 | 申请（专利权）人： | 深圳市中图仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 深圳舍穆专利代理事务所(特殊普通合伙) 44398 | 代理人： | 邱爽 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型描述一种大视场的闪测设备，包括承载机构、设置于承载机构的支撑机构、设置于支撑机构且与承载机构的承载面的工件相对设置的包括双远心镜头的测量机构、以及辅助测量机构对工件进行照明测量的多个光源，多个光源包括设置于承载面一侧的第一光源和承载面另一侧的第二光源，第一光源结合第二光源用于曝光工件。在本实施方式中，通过使用双远心镜头进行大视场的测量，可以高效地在大范围内完成多工件的测量，由此，能够提高测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 视场 设备 | ||
【主权项】：
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