[实用新型]大视场的闪测设备有效
申请号: | 202222761008.2 | 申请日: | 2022-10-19 |
公开(公告)号: | CN218155996U | 公开(公告)日: | 2022-12-27 |
发明(设计)人: | 徐爱文;陈源 | 申请(专利权)人: | 深圳市中图仪器股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 深圳舍穆专利代理事务所(特殊普通合伙) 44398 | 代理人: | 邱爽 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 视场 设备 | ||
1.一种大视场的闪测设备,其特征在于,包括承载机构、设置于所述承载机构的支撑机构、设置于所述支撑机构且与位于所述承载机构的承载面的工件相对设置的包括双远心镜头的测量机构、以及辅助所述测量机构对所述工件进行照明测量的多个光源,所述多个光源包括设置于所述承载面一侧的第一光源和所述承载面另一侧的第二光源,所述第一光源结合所述第二光源用于曝光所述工件。
2.根据权利要求1所述的闪测设备,其特征在于,
所述双远心镜头朝向所述工件且与所述承载面间隔预定距离。
3.根据权利要求1所述的闪测设备,其特征在于,
所述第一光源包括多个反射镜。
4.根据权利要求1所述的闪测设备,其特征在于,
所述第一光源朝向所述测量机构发出多束平行光。
5.根据权利要求1所述的闪测设备,其特征在于,
所述第二光源可移动地设置于所述支撑机构。
6.根据权利要求1所述的闪测设备,其特征在于,
所述第二光源与所述双远心镜头同轴。
7.根据权利要求4所述的闪测设备,其特征在于,
所述多束平行光的光线方向可调节。
8.根据权利要求4所述的闪测设备,其特征在于,
所述多束平行光的光线方向垂直于所述承载面。
9.根据权利要求1所述的闪测设备,其特征在于,
所述多个光源还包括在所述双远心镜头设置的第三光源。
10.根据权利要求9所述的闪测设备,其特征在于,
所述第三光源为环形光源。
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