[实用新型]用于兼容锗烷和乙硼烷制备的制备系统有效
| 申请号： | 202222744824.2 | 申请日： | 2022-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN218784807U | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 贾辉;张说;闫晓军;陈刚军 | 申请（专利权）人： | 烟台万华电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00 |
| 代理公司： | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人： | 王化平;陈悦军 |
| 地址： | 264006 山东省烟台市经济技*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 用于兼容锗烷和乙硼烷制备的制备系统，包括依次经管道相连接的生产单元和收集单元，以及He气瓶和真空泵；生产单元包括原料气瓶、碱液罐和反应釜；原料气瓶与所述碱液罐并联设置；收集单元包括并联设置的锗烷收集单元和乙硼烷收集单元；锗烷收集单元包括第一冷阱以及串联设置的除水器、填料罐、锗烷收集器和锗烷收集瓶，锗烷收集器置于第一冷阱内；乙硼烷收集单元包括第二冷阱、第三冷阱以及串联设置的杂质气体收集器、乙硼烷收集器和乙硼烷收集瓶，杂质气体收集器置于第二冷阱内，乙硼烷收集器置于第三冷阱内。该制备系统，结构简单，设计合理，通过一系列设置和阀门调控能够切换实现兼容锗烷和乙硼烷两种电子气体的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 兼容 乙硼烷 制备 系统 | ||
【主权项】：
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