[实用新型]一种PVD设备镀膜挡板

摘要

本实用新型公开了一种PVD设备镀膜挡板，涉及到PVD设备领域，包括镀膜辊，镀膜辊的下方设置有镀膜挡板主体，镀膜挡板主体的下方设置有冷却挡板，冷却挡板内壁的下侧开设有两个第一工形卡槽，镀膜挡板主体下侧表面的左右两侧均固定连接有与第一工形卡槽相匹配的第一工形卡条，两个第一工形卡槽的内壁均与相对应的第一工形卡条的表面卡接。本实用新型通过设置镀膜挡板主体，使得PVD设备在进行镀膜的时候避免将镀膜材料滴落至冷却挡板上，从而导致冷却挡板难以清理，并且在第一工形卡槽和第一工形卡条的作用下，方便对镀膜挡板主体进行安装和拆卸，从而使得镀膜挡板主体上堆积的材料达到一定量后，能够及时抽出，并且换上新的镀膜挡板主体。