[实用新型]一种晶圆检测平台有效
| 申请号： | 202222715283.0 | 申请日： | 2022-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN218931043U | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 许彬彬;黎振江;陈菲;杨峥 | 申请（专利权）人： | 深圳技术大学 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 谢松 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆检测平台，晶圆检测平台包括：机柜；5个隔振器，设置于机柜；重量板，设置于所有隔振器上；两个相互平行的X轴直线电机，设置于重量板；X轴滑块，滑动设置于两个X轴直线电机；两个相互平行的Y轴直线电机，设置于X轴滑块；Y轴滑块，滑动设置于两个Y轴直线电机；微动台，设置于Y轴滑动块；吸盘，设置于微动台，并用于放置待检测晶圆；微动台带动吸盘沿Z轴方向移动，绕X轴转动，以及绕Y轴转动。在设置X轴直线电机和Y轴直线电机的基础上，设置微动台实现微运动，从X轴坐标、Y轴坐标、Z轴坐标、与X轴的夹角、与Y轴的夹角五个维度对吸盘和晶圆的位置进行调整，确保晶圆的运动精度，提高晶圆检测效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 平台 | ||
【主权项】：
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