[实用新型]一种等离子清洗机轨道有效
| 申请号： | 202222710680.9 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN218890945U | 公开（公告）日： | 2023-04-21 |
| 发明（设计）人： | 涂海;邹恒;陈磊;王亮;舒耀明;管有军;邱伟豪;林文奎;李奕聪 | 申请（专利权）人： | 宁波泰睿思微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00;H01L21/67;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 宋小光 |
| 地址： | 315475 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子清洗机轨道，包括底座，所述底座上均匀且转动安装有多个导轨，所述导轨之间设置有用于减小半导体框架与所述导轨之间摩擦阻力的支撑滑轮，所述支撑滑轮上方设置有定位滑轮，且所述定位滑轮通过安装架活动安装在所述底座上。本实用新型能够有效地降低半导体框架发生刮花的概率，同时还能够避免半导体框架在移动过程中发生卡料，保证了半导体框架清洗工作的顺利进行，具有结构简单、防护效果佳的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 清洗 轨道 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波泰睿思微电子有限公司，未经宁波泰睿思微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222710680.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种市政雨污水的截留装置
- 下一篇：蓝光光疗装置和婴儿床
