[实用新型]一种单晶炉下轴保护装置有效
| 申请号： | 202222693225.2 | 申请日： | 2022-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN218436021U | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 李安君;许堃;吴超慧;朱厚军;罗昌萍 | 申请（专利权）人： | 宇泽半导体（云南）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人： | 卓红 |
| 地址： | 675000 云南省楚雄彝族*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，具体为一种单晶炉下轴保护装置，包括托杆，托杆安装在单晶炉下轴上，托杆的外侧上部安装有底加，底加的下方设置有防漏护板，防漏护板的底部安装有副石墨电极。该单晶炉下轴保护装置中，通过托杆保护环可以减少单晶炉内的硅熔体在拉晶时的液面晃动及因溅硅而导致的下轴波纹管烫穿而造成的单晶炉漏气，可有效降低拉晶过程中的液面晃动及波纹管烫穿的异常事故，托杆保护环为活动式设计，托杆保护环缩小了热场和托杆保护环的距离，使得溅硅被托杆保护环所阻挡，溅硅不会直接落入下轴波纹管中，从而降低了下轴波纹管被溅硅烫穿的概率，大大减少单晶炉漏气事件的发生及更换下轴波纹管的维修费用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉下轴 保护装置 | ||
【主权项】：
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