[实用新型]针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置有效
| 申请号： | 202222601442.4 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN218765928U | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 魏晓马;刘玉轩;邓明翰;张艳茹;桑琦 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京慧智兴达知识产权代理有限公司 11615 | 代理人： | 李丽颖 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，包括：沿激光光路传播方向依次设置的对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计；其中，对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计通过密封箱体密封在氮气环境中；对准镜和光学镜片安装在旋转台上，对准镜与光学镜片以固定角度设置；深紫外激光器的出射光经光学镜片透射，透射光入射到偏振检测镜上，能量计用于检测偏振检测镜反射光的能量；以激光入射至光学镜片的法线为旋转轴旋转光学镜片，当能量计检测到的能量最小时，为光学镜片的最小退偏角度位置。本实用新型的测定装置，组件简单，价格低廉、质量轻、体积小，可重复使用，并能对不同的光学镜片进行测定，提高了装置的使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 针对 深紫 激光 光学镜片 最小 偏角 测定 装置 | ||
【主权项】：
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