[实用新型]一种硅片线切中斜线网距离测量的工装有效
| 申请号： | 202222600122.7 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN218410965U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 赵熠;冯琰;王艺澄 | 申请（专利权）人： | 江苏美科太阳能科技股份有限公司;包头美科硅能源有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/02 | 分类号： | G01B5/02 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 周琪 |
| 地址： | 212200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片线切中斜线网距离测量的工装，包括L型的透明基板（5），透明基板（5）包括相互垂直的竖直板（51）和水平板（52），竖直板（51）所在方向设为Z轴，水平板（52）所在方向设为Y轴，水平板（52）上与Y轴相互垂直的方向设为X轴；水平板（52）上设有一对凹槽（52a），凹槽（52a）沿着X轴方向设置，且其内连有对应的菲林尺（6），两个菲林尺（6）的间距n与宇晶切片机的轴距相同。本实用新型的优点是可以提高线网间钢线斜度测量值精确度，降低硅片TTV缺陷，提升硅片良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切中 斜线 距离 测量 工装 | ||
【主权项】：
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