[实用新型]一种晶圆衬底性能检测设备有效
| 申请号： | 202222573484.1 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN218412144U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 韩五静;王思远;陈磊 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N7/00 | 分类号： | G01N7/00 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆衬底性能检测设备，包括检测装置以及输送待测物的输送设备，所述检测装置安装于输送设备上端，所述检测装置包括检测平台，所述检测平台下端转动连接有安装盘，所述安装盘下端安装有检测管，所述检测管根据竖直高度分为第一端以及第二端，所述检测管的第一端位于靠近输送设备的一侧，所述检测管第一端设置有检测部，所述检测部中间位置开有通口，所述检测管的第二端连通有气体控制装置，所述输送设备上端设置有驱动设备，通过所述驱动设备以驱动检测平台线性移动。本实用新型其解决了如何对衬底表面缺陷进行连续高效检测的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 性能 检测 设备 | ||
【主权项】：
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