[实用新型]一种真空镀膜机用溅镀室轨道导向结构有效
| 申请号： | 202222556281.1 | 申请日： | 2022-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN218262715U | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 王启胜;陈哲;吴志军;方健 | 申请（专利权）人： | 宁波晶创科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 杭州知见专利代理有限公司 33295 | 代理人： | 杨剑 |
| 地址： | 315800 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜机技术领域。一种真空镀膜机用溅镀室轨道导向结构，包括传动架，所述的传动架上设有若干个传动轮，传动轮的两侧对称设有若干个导向座，导向座包括纵向排列的下防尘块与上防尘块，下防尘块内设有底部导向轮，底部导向轮的一侧凸出于下防尘块，上防尘块内设有顶部导向轮，顶部导向轮的一侧凸出于上防尘块露出。本发明提供了一种防止导向轮在镀膜过程中银离子附着，减少导向轮卡死造成传动故障的情况，使用寿命长的一种真空镀膜机用溅镀室轨道导向结构；解决了现有技术中存在的溅镀室内传动轨道上的导向轮长时间使用后银离子附着在导向轮表面，导向轮会发生卡死导致传动故障的情况，不便于维修，增加生产成本的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 机用溅镀室 轨道 导向 结构 | ||
【主权项】：
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