[实用新型]一种LPCVD炉管结构有效
| 申请号： | 202222546991.6 | 申请日： | 2022-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN218580135U | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 刘斐;张文;燕小川;刘洋 | 申请（专利权）人： | 青海黄河上游水电开发有限责任公司西宁太阳能电力分公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/06;C23C16/44;F16J15/14 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 810007 青*** | 国省代码： | 青海;63 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种LPCVD炉管结构，包括内管和套在所述内管外侧的外管，所述内管的两端和所述外管的两端分别通过密封法兰密封，使所述内管的内管外壁与所述外管的外管内壁之间形成密封腔室；其中，所述密封法兰上穿设有第一通气管道，所述第一通气管道的一端口与所述密封腔室连通，所述第一通气管道的另一端口与氮气供应装置连接，所述氮气供应装置能够通过所述第一通气管道向所述密封腔室提供氮气。本实用新型减少了在双层套管结构的LPCVD炉管结构中硅烷流入到内管外壁与外管内壁之间形成多晶硅薄膜的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 lpcvd 炉管 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青海黄河上游水电开发有限责任公司西宁太阳能电力分公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司，未经青海黄河上游水电开发有限责任公司西宁太阳能电力分公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222546991.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种冷冻块食品原料的快速破碎解冻装置
- 下一篇：收割机
