[实用新型]一种面板检测用管镜装置有效
| 申请号： | 202222387409.6 | 申请日： | 2022-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN217688641U | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 许锐;邓忠光;邓俊涛;洪志坤;郑增强;欧昌东 | 申请（专利权）人： | 武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01B11/00;G02B23/24 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 黄行军;高炳龙 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种面板检测用管镜装置，其包括照明单元，用于将照明光源发射的照明光束导引至待测物；显微成像单元，用于将由待测物反射的照明光束分束为多个分光束，并将每个分光束导引至一个成像相机；滤光片组件，用于过滤由待测物反射的照明光束使得成像相机获取目标波段的光束。本实用新型既能够保证相机成像的一致性，同时能够有效提升显微检测系统的成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面板 检测 用管镜 装置 | ||
【主权项】：
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