[实用新型]一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备有效
| 申请号： | 202222362124.7 | 申请日： | 2022-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN218026342U | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 陈萍 | 申请（专利权）人： | 深圳臻金精密科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市光明新区凤凰街道塘家社区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及柔性金属加工技术领域，且公开了一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，包括上料机构，所述上料机构的输出端安装有原材料清洗设备，所述原材料清洗设备的右侧设置有连续曝光设备，所述连续曝光设备的右侧设置有显影设备，所述显影设备的输出端安装有蚀刻设备，所述蚀刻设备的输出端安装有脱干膜清洗设备。该适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，通过原材料清洗设备、连续曝光设备、显影设备、蚀刻设备、脱干膜清洗设备和线扫激光全检设备的配合，可使柔性金属的蚀刻加工具备连续性，且柔性金属蚀刻后的线扫激光检测断线瑕疵效果较好，从而提高柔性金属的蚀刻效率，进而便于柔性材料的连续性蚀刻操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 柔性 材料 连续性 蚀刻 设备 | ||
【主权项】：
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