[实用新型]一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备有效

专利信息
申请号: 202222362124.7 申请日: 2022-09-06
公开(公告)号: CN218026342U 公开(公告)日: 2022-12-13
发明(设计)人: 陈萍 申请(专利权)人: 深圳臻金精密科技有限公司
主分类号: C23F1/02 分类号: C23F1/02;C23F1/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518100 广东省深圳市光明新区凤凰街道塘家社区*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 适用于 柔性 材料 连续性 蚀刻 设备
【说明书】:

实用新型涉及柔性金属加工技术领域,且公开了一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,包括上料机构,所述上料机构的输出端安装有原材料清洗设备,所述原材料清洗设备的右侧设置有连续曝光设备,所述连续曝光设备的右侧设置有显影设备,所述显影设备的输出端安装有蚀刻设备,所述蚀刻设备的输出端安装有脱干膜清洗设备。该适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,通过原材料清洗设备、连续曝光设备、显影设备、蚀刻设备、脱干膜清洗设备和线扫激光全检设备的配合,可使柔性金属的蚀刻加工具备连续性,且柔性金属蚀刻后的线扫激光检测断线瑕疵效果较好,从而提高柔性金属的蚀刻效率,进而便于柔性材料的连续性蚀刻操作。

技术领域

本实用新型涉及柔性金属加工技术领域,具体为一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备。

背景技术

蚀刻是指通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。在对柔性金属进行蚀刻加工时,需要不断对蚀刻存在的瑕疵进行检测,柔性金属的蚀刻操作不具备连续性,蚀刻效率低。因此,急需设计一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,具备连续性蚀刻和效率高等优点,解决了柔性金属蚀刻加工时,需要不断对蚀刻存在的瑕疵进行检测,柔性金属的蚀刻操作不具备连续性,蚀刻效率低的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,包括上料机构,所述上料机构的输出端安装有原材料清洗设备,所述原材料清洗设备的右侧设置有连续曝光设备,所述连续曝光设备的右侧设置有显影设备,所述显影设备的输出端安装有蚀刻设备,所述蚀刻设备的输出端安装有脱干膜清洗设备,所述脱干膜清洗设备的输出端安装有线扫激光全检设备,所述线扫激光全检设备的右侧设置有UV固化设备,所述UV固化设备的右侧设置有成品收卷机构。

优选的,所述原材料清洗设备和连续曝光设备之间设置有第一贴合装置,柔性金属从上料机构处上料后进行清洗,清洗后贴合干膜并连续曝光。

优选的,所述连续曝光设备和显影设备之间设置有第二贴合装置,柔性金属连续曝光后贴合UV减弱膜并进行显影。

优选的,所述线扫激光全检设备和UV固化设备之间设置有第三贴合装置,柔性金属蚀刻后线扫激光检测断线瑕疵,检测结束后贴低粘保护膜并进行固化。

优选的,所述UV固化设备和成品收卷机构之间设置有撕膜设备和第四贴合装置,UV固化后撕UV减弱膜并贴低粘保护膜,最后对柔性金属进行收卷下料。

与现有技术相比,本实用新型提供了一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,具备以下有益效果:

1、该适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,通过连续曝光设备、显影设备、蚀刻设备、脱干膜清洗设备和线扫激光全检设备的配合,可使柔性金属的蚀刻加工具备连续性,且柔性金属蚀刻后的线扫激光检测断线瑕疵效果较好,从而提高柔性金属的蚀刻效率,进而便于柔性材料的连续性蚀刻操作。

2、该适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,通过柔性金属从上料机构处上料后进行清洗,清洗后贴合干膜并连续曝光,连续曝光后贴合UV减弱膜并依次经过显影、蚀刻和清洗脱干膜操作,然后输送至线扫激光全检设备进行检测,检测结束后贴低粘保护膜并进行固化,再撕UV减弱膜并贴低粘保护膜,最后对柔性金属进行收卷下料。

附图说明

图1为本实用新型连续性蚀刻流程图;

图2为本实用新型连续蚀刻设备结构示意图。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳臻金精密科技有限公司,未经深圳臻金精密科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202222362124.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top