[实用新型]一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备有效
申请号: | 202222362124.7 | 申请日: | 2022-09-06 |
公开(公告)号: | CN218026342U | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 陈萍 | 申请(专利权)人: | 深圳臻金精密科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/02 | 分类号: | C23F1/02;C23F1/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518100 广东省深圳市光明新区凤凰街道塘家社区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 柔性 材料 连续性 蚀刻 设备 | ||
本实用新型涉及柔性金属加工技术领域,且公开了一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,包括上料机构,所述上料机构的输出端安装有原材料清洗设备,所述原材料清洗设备的右侧设置有连续曝光设备,所述连续曝光设备的右侧设置有显影设备,所述显影设备的输出端安装有蚀刻设备,所述蚀刻设备的输出端安装有脱干膜清洗设备。该适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,通过原材料清洗设备、连续曝光设备、显影设备、蚀刻设备、脱干膜清洗设备和线扫激光全检设备的配合,可使柔性金属的蚀刻加工具备连续性,且柔性金属蚀刻后的线扫激光检测断线瑕疵效果较好,从而提高柔性金属的蚀刻效率,进而便于柔性材料的连续性蚀刻操作。
技术领域
本实用新型涉及柔性金属加工技术领域,具体为一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备。
背景技术
蚀刻是指通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。在对柔性金属进行蚀刻加工时,需要不断对蚀刻存在的瑕疵进行检测,柔性金属的蚀刻操作不具备连续性,蚀刻效率低。因此,急需设计一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,具备连续性蚀刻和效率高等优点,解决了柔性金属蚀刻加工时,需要不断对蚀刻存在的瑕疵进行检测,柔性金属的蚀刻操作不具备连续性,蚀刻效率低的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,包括上料机构,所述上料机构的输出端安装有原材料清洗设备,所述原材料清洗设备的右侧设置有连续曝光设备,所述连续曝光设备的右侧设置有显影设备,所述显影设备的输出端安装有蚀刻设备,所述蚀刻设备的输出端安装有脱干膜清洗设备,所述脱干膜清洗设备的输出端安装有线扫激光全检设备,所述线扫激光全检设备的右侧设置有UV固化设备,所述UV固化设备的右侧设置有成品收卷机构。
优选的,所述原材料清洗设备和连续曝光设备之间设置有第一贴合装置,柔性金属从上料机构处上料后进行清洗,清洗后贴合干膜并连续曝光。
优选的,所述连续曝光设备和显影设备之间设置有第二贴合装置,柔性金属连续曝光后贴合UV减弱膜并进行显影。
优选的,所述线扫激光全检设备和UV固化设备之间设置有第三贴合装置,柔性金属蚀刻后线扫激光检测断线瑕疵,检测结束后贴低粘保护膜并进行固化。
优选的,所述UV固化设备和成品收卷机构之间设置有撕膜设备和第四贴合装置,UV固化后撕UV减弱膜并贴低粘保护膜,最后对柔性金属进行收卷下料。
与现有技术相比,本实用新型提供了一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,具备以下有益效果:
1、该适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,通过连续曝光设备、显影设备、蚀刻设备、脱干膜清洗设备和线扫激光全检设备的配合,可使柔性金属的蚀刻加工具备连续性,且柔性金属蚀刻后的线扫激光检测断线瑕疵效果较好,从而提高柔性金属的蚀刻效率,进而便于柔性材料的连续性蚀刻操作。
2、该适用于柔性材料的连续性蚀刻设备,通过柔性金属从上料机构处上料后进行清洗,清洗后贴合干膜并连续曝光,连续曝光后贴合UV减弱膜并依次经过显影、蚀刻和清洗脱干膜操作,然后输送至线扫激光全检设备进行检测,检测结束后贴低粘保护膜并进行固化,再撕UV减弱膜并贴低粘保护膜,最后对柔性金属进行收卷下料。
附图说明
图1为本实用新型连续性蚀刻流程图;
图2为本实用新型连续蚀刻设备结构示意图。
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