[实用新型]一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置有效
| 申请号： | 202222332297.4 | 申请日： | 2022-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN218395078U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 张桃峰 | 申请（专利权）人： | 平田机工自动化设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 苏州荣谷知识产权代理事务所(普通合伙) 32612 | 代理人： | 韩国辉 |
| 地址： | 201401 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置，包括鼓风机构及出风机构，鼓风机构与出风机构连通，可通过出风机构向晶圆片分拣设备内部送风，出风机构底部开设有竖向出风口，竖向出风口指向出风机构下方，鼓风机构可通过竖向出风口向晶圆片分拣设备送风，出风机构侧部还开设有横向出风口，横向出风口指向出风机构侧方，鼓风机构可通过横向出风口向晶圆片分拣设备送风。该送风装置在出风机构中开设竖向出风口及横向出风口，可在多个方向对晶圆分拣设备内部进行鼓风除尘，减少送风死角，同时在出风机构中安装过滤器，对送风过程进行净化除尘处理，从而提高晶圆分拣设备内部的洁净度，减少对晶圆片表面的损伤，提高晶圆片质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 多向 结构 晶圆片 分拣 设备 送风 装置 | ||
【主权项】：
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