[实用新型]一种垂直腔表面发射激光器有效
| 申请号： | 202222306692.5 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN218040202U | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 沈宏勋;姜驰;曾评伟;王硕;范纲维 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/042 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种垂直腔表面发射激光器，在P型DBR层上划分为非功能区和多个功能区，保护层和P型金属连接层设置在功能区内，保护层覆盖P型DBR层、氧化沟槽、氧化台柱和P电极，P型金属连接层覆盖于保护层上与P电极连接，在氧化孔的上方形成光窗；每个功能区至少具有一个氧化台柱，在同一个功能区中的氧化台柱具有相同的氧化孔孔径,在相邻两个功能区中的氧化台柱具有不相同的氧化孔孔径。本实用新型既可发射出均匀光斑，也可以产生多种不同的特定光型，一次性提供多元化的VCSEL光型与特性的产品，拓展应用端的设计多元化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 表面 发射 激光器 | ||
【主权项】：
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