[实用新型]一种垂直腔表面发射激光器

权利要求书

1.一种垂直腔表面发射激光器，其特征在于：包括由下至上依次层叠的N电极、衬底、N型DBR层、MQW层、氧化层、P型DBR层、P电极、保护层和P型金属连接层；还包括氧化台柱和氧化沟槽，氧化沟槽围绕所述氧化台柱设置，氧化沟槽自上而下贯穿P型DBR层、氧化层、MQW层截止于N型DBR层上；氧化台柱中的氧化层由位于中心的氧化孔和位于氧化孔周围的氧化物电流限制区组成，P电极设置在氧化台柱的P型DBR层上；在P型DBR层上划分为非功能区和多个功能区，功能区设有保护层和P型金属连接层，保护层覆盖P型DBR层、氧化沟槽、氧化台柱和P电极，并在P电极上形成开口，P型金属连接层覆盖于保护层上通过开口与P电极连接，并且在氧化孔的上方形成光窗；每个功能区至少具有一个氧化台柱，在同一个功能区中的氧化台柱具有相同的氧化孔孔径,在相邻两个功能区中的氧化台柱具有不相同的氧化孔孔径。

2.根据权利要求1所述的一种垂直腔表面发射激光器，其特征在于：在功能区中具有多个氧化台柱，相邻两个氧化台柱之间的最小间距大于等于6μm。

3.根据权利要求1所述的一种垂直腔表面发射激光器，其特征在于：具有四个功能区，分别是具有一个第一氧化台柱的第一功能区，具有两个第二氧化台柱的第二功能区，具有四个第三氧化台柱的第三功能区，具有九个第四氧化台柱的第四功能区；第一氧化台柱的直径为38.5μm，氧化孔孔径为12.5μm，第二氧化台柱的直径为36.5μm，氧化孔孔径为10.5μm，相邻两个氧化台柱之间的最小间距为6μm，第三氧化台柱的直径为34.5μm，氧化孔孔径为8.5μm，相邻两个氧化台柱之间的最小间距为6μm，第四氧化台柱的直径为32.5μm，氧化孔孔径为6.5μm，相邻两个氧化台柱之间的最小间距为6μm。

4.根据权利要求1所述的一种垂直腔表面发射激光器，其特征在于：功能区为L型，一端为氧化台柱聚集的发光区，另一端为外接电连接的接线区，多个功能区呈顺时针围绕排布，发光区位于内圈，接线区位于外圈。

5.根据权利要求1所述的一种垂直腔表面发射激光器，其特征在于：在同一个功能区内具有多个氧化台柱，各氧化台柱之间的最小间距相同。

6.根据权利要求1所述的一种垂直腔表面发射激光器，其特征在于：氧化沟槽的宽度为6μm。

7.根据权利要求1所述的一种垂直腔表面发射激光器，其特征在于：氧化孔和光窗共圆心，光窗的孔径大于氧化孔的孔径。

8.根据权利要求7所述的一种垂直腔表面发射激光器，其特征在于：氧化孔的孔径为6.5-12.5μm，光窗的孔径为8.5-14.5μm。

9.根据权利要求1所述的一种垂直腔表面发射激光器，其特征在于：保护层的材料为SiN、SiO₂或SiNO_x。

10.根据权利要求1所述的一种垂直腔表面发射激光器，其特征在于：氧化孔的边缘至氧化沟槽的距离为13μm。