[实用新型]静电吸附盘清洁装置有效
| 申请号： | 202222296260.0 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN218014580U | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 杨兴昭;陈泳 | 申请（专利权）人： | 杭州富芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 丁俊萍;王律强 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种静电吸附盘清洁装置，包括：供气装置、供气管道和静电吸附盘。供气装置用于提供气体。供气管道包含主管道与复数个顶针，主管道的一端与供气装置连通，复数个顶针的一端分别连通主管道，复数个顶针的另一端用于顶出或下放晶圆，且各个顶针包括至少一个出气口。静电吸附盘具有复数个通孔，复数个通孔和复数个顶针对应设置，各个顶针可分别穿过各个通孔上下运动以顶出或下放晶圆，各个出气口可随对应的各个顶针上下运动，出气口在静电吸附盘的上方运动时，气体可经由各个出气口流向静电吸附盘以清除静电吸附盘上的污染物。本申请解决了现有静电吸附盘清洁装置清除污染物时会减少机台跑货时间的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸附 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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