[实用新型]静电吸附盘清洁装置

权利要求书

1.一种静电吸附盘清洁装置(1)，其特征在于，包括：

供气装置(10)，其用于提供气体；

供气管道(11)，其包含主管道(110)与复数个顶针(111)，所述主管道(110)的一端与所述供气装置(10)连通，所述复数个顶针(111)的一端分别连通所述主管道(110)，所述复数个顶针(111)的另一端用于顶出或下放晶圆(2)，且各个所述顶针(111)包括至少一个出气口(1110)；以及

静电吸附盘(12)，其具有复数个通孔(120)，所述复数个通孔(120)和所述复数个顶针(111)对应设置，各个所述顶针(111)可分别穿过各个所述通孔(120)上下运动以顶出或下放所述晶圆(2)，所述出气口(1110)可随对应的所述顶针(111)上下运动，所述出气口(1110)在所述静电吸附盘(12)的上方运动时，所述气体可经由各个所述出气口(1110)流向所述静电吸附盘(12)以清除所述静电吸附盘(12)上的污染物。

2.根据权利要求1所述的静电吸附盘清洁装置(1)，其特征在于，所述出气口(1110)在所述静电吸附盘(12)的上方运动时，各个所述出气口(1110)朝向所述静电吸附盘(12)。

3.根据权利要求2所述的静电吸附盘清洁装置(1)，其特征在于，各个所述顶针(111)包括顶壁(1111)、侧壁(1112)和至少一个出气管(1113)，所述顶壁(1111)密封连接于所述侧壁(1112)的顶部，各个所述出气管(1113)和对应的所述侧壁(1112)的一端连通，所述主管道(110)和各个所述侧壁(1112)的另一端连通，各个所述出气口(1110)位于对应的所述出气管(1113)，且自对应的所述侧壁(1112)沿对应的所述出气管(1113)的轴向延伸。

4.根据权利要求3所述的静电吸附盘清洁装置(1)，其特征在于，各个所述出气管(1113)的中心轴线和对应的所述侧壁(1112)之间的夹角为锐角。

5.根据权利要求4所述的静电吸附盘清洁装置(1)，其特征在于，各个所述顶针(111)包括两个出气管(1113)，所述两个出气管(1113)设置于对应的所述顶针(111)的中心轴线的两侧。

6.根据权利要求5所述的静电吸附盘清洁装置(1)，其特征在于，所述两个出气管(1113)在对应的所述侧壁(1112)上错开设置。

7.根据权利要求3所述的静电吸附盘清洁装置(1)，其特征在于，在各个所述顶针(111)的中心轴线每一侧对应的所有所述出气管(1113)的朝向大致相同。

8.根据权利要求3所述的静电吸附盘清洁装置(1)，其特征在于，所述主管道(110)垂直于各个所述侧壁(1112)设置，所述主管道(110)和各个所述侧壁(1112)的底端连通。

9.根据权利要求1-8任一项所述的静电吸附盘清洁装置(1)，其特征在于，各个所述顶针(111)在对应的所述通孔(120)的投影位于所述通孔(120)内。

10.根据权利要求9所述的静电吸附盘清洁装置(1)，其特征在于，还包括执行机构(13)，其和所述供气管道(11)连接，所述执行机构(13)用于驱动所述复数个顶针(111)顶出或下放所述晶圆(2)。